名稱

溫控型真空感應加熱爐系列

視頻

型號

SP-50KTC

SP-85KTC

感應電源

·工作電壓：380V，50Hz，三相

·空氣開關(guān)：需要100A空氣開關(guān)

·輸入功率: 15KW

·輸出頻率:30-80kHz

·保護系統(tǒng)：帶有自動水壓、過熱、功率過高保護

溫控系統(tǒng)和熱電偶

·精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式

·可設(shè)置30段升降溫程序

·帶有過熱和斷偶保護

·控溫精度：±5oC

·熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL )

·連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC

·*高溫度：2000oC（<30min）

·升溫速率:

1度/秒1000-1200oC；

1度/2秒 1200oC-1500oC ；

1度/4秒 1500oC-2000oC

石墨坩堝，耐火材料和防護罩

·高純石墨坩堝:50mm(內(nèi)徑) * 40mm(外徑) * 110mm（深）,坩堝是用來感應加熱和熔化金屬

·容量：樣品所占容積應該是石墨坩堝容積的1/2

·可熔煉物料的質(zhì)量：*多0.6Kg（按純鐵的密度計算）

·可選:為對晶片熱處理，可定制石墨樣品臺，可放置晶片尺寸為1.5''O.D*1/8''T，因為石墨導熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻

·保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）

·注意:石墨坩堝是易耗件

·高純石墨坩堝:114mm（內(nèi)徑） * 100mm（外徑） * 142mm（深），坩堝是用來感應加熱和熔化金屬

·容量：樣品所占容積應該是石墨坩堝容積的1/2

·可熔煉物料的質(zhì)量：*多4Kg（按純鐵的密度計算）

·保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）

·注意:石墨坩堝是易耗件

密封法蘭和石英腔體

·兩端開口的石英管尺寸：130mm(OD)* 122mm(ID) *360mm(L)

·頂部法蘭:采用不銹鋼鉸鏈法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接

·兩端開口的石英管尺寸： 216?mm(OD)?*?208?mm(ID)?*?500mm(L)

·頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接

真空計

·防腐真空計,測量范圍3.8*10E-5托

·一個輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。

浮子流量計

緊湊型直讀浮子流量計，100-1000scc/min。精度:4%。

泄壓閥

為了安全考慮，在腔體內(nèi)安裝泄壓閥，當壓力大于0.02MPa時，閥門會自動釋放壓力，保證安全。

循環(huán)水冷機（可選）

·溫度范圍：5～30℃

·水流量：16L/min

·水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L。

注意：建議使用特定的冷卻液以獲得*佳性能。在幾次加熱試驗后，等待幾分鐘冷卻屬于正常現(xiàn)象

真空泵（可選）

·標配一個2.2L/s的雙級旋葉片真空泵

·電壓：AC 208-240V 50Hz,單相

·功率：0.4KW

另有多種真空泵，詳情請點擊下圖選擇

電爐尺寸

整體機器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）

凈重

100Kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應圈等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點擊查看售后服務承諾書。

認證

如果客戶需要通過MET認證，需自行支付認證費用，具體價格請聯(lián)系我們的銷售代表。

認證標準包括:1)感應加熱器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水機組:UL61010 & UL1995

注意事項

·為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環(huán)境中進行。氣體流量應限制在< 200SCCM

·C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)

·熔融時間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應加熱器是否能熔化你的樣品，請聯(lián)系我們的工程師咨詢

·感應熔融系統(tǒng)的設(shè)計是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi

·必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運行。點擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝

·當出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi，請立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預見的損壞

應用

·PVT(物理蒸氣運輸)系統(tǒng)通過改變一個合適的坩堝，使其能夠成為生長長型碳化硅晶體，請點擊下面的圖片或問我們的工程師如何

·此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們

·如需定制，請聯(lián)系我們的銷售部

免責聲明

本本電爐介紹內(nèi)容（包括電爐圖片、電爐描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r和網(wǎng)本不可預知的BUG造成數(shù)據(jù)與實物的偏差。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解電爐詳細信息，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本本提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，公司會不定期完善和修改網(wǎng)本任何信息，恕不另行通知，請您見諒。