1200℃三溫區(qū)開啟式立式管式爐OTF-1200℃-III-V
1200℃三溫區(qū)開啟式立式管式爐OTF-1200℃-III-V 的詳細介紹
OTF-1200℃-III-V是一款三溫區(qū)的立式管式爐,*高溫度可達到1200℃。此款管式爐不僅可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行快速地熱處理和淬火,同時也可用PVD、CSS和CVD方法來制作薄膜。三個溫區(qū)分別由三個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,每個溫區(qū)可設置30段升降溫程序,其控溫精度為+/-1℃,爐體下端安裝有一移動爐架,以便于設備移動。
免責聲明:本本電爐介紹內容(包括電爐圖片、電爐描述、技術參數等)僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r和網本不可預知的BUG造成數據與實物的偏差。如果您對參數有異議,或者想了解電爐詳細信息,請與本公司銷售人員聯系。本本提供的信息不構成任何要約或承諾,公司會不定期完善和修改網本任何信息,恕不另行通知,請您見諒。
技術參數
名稱 | 1200℃三溫區(qū)開啟立式爐-OTF-1200℃-VT-III |
爐體結構
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l采用雙層殼體結構并帶有風冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于60℃
l爐體設計為開啟式,以方便與更換爐管
l采用高純氧化鋁作為爐膛材料,爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命
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基本參數 |
溫度:長期1100℃ (1200℃<1h)
建議升溫速率:≤10℃/min
熱偶:K型熱偶
電壓:AC208-240,50Hz
功率: 7KW
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爐管尺寸 |
以下幾種尺寸的高純度石英管可選:
lOD:Φ50 mm×L1000mm
lOD:Φ60 mm×L1000mm
lOD:Φ80 mm×L1000mm
lOD:Φ100 mm×L1000mm
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加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度:900mm (三溫區(qū)300+300+300mm) |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
溫控系統(tǒng) |
l包含一款YD518P型溫度控制器
lPID自動控溫系統(tǒng)
l智能化30段可編程控制
l控溫精度:±1℃
l默認DB9 PC通信連接端口
l通過MET認證
l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。
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密封法蘭
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1.上端法蘭上焊有一吊環(huán),以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進行燒結 2.可選:本公司生產的帶鉸鏈式法蘭和進口的防腐型數字式真空計 3.多種接頭可選,具體請咨詢銷售部
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外形尺寸 | l1100(L)×450(W)×670(H)(移動爐架不包含在內) l600mm(L)×600mm(W)×2000(H)(包含管子法蘭的整體尺寸) |
凈重 | 約115kg(不包含移動爐架) |
質保期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。
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真空系統(tǒng) |
l通過機械泵可達到10E-2 Torr.(參考值,具體請點擊)
l通過分子泵泵可達到10E-5 Torr.(參考值,具體請點擊)
l漏氣率< 5 mTorr / min.(參考值,具體請點擊) |
使用注意事項 |
l爐管內氣壓不可高于0.02MPa。
l由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加**安全。
l石英管的長時間使用溫度<1100℃。
l當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當。
l進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊。
l對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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免責聲明 |
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