PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。
| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 主要參數(shù) |
● 大射頻功率: 100 W ● 真空泵功率: < 500W ● 總功率: < 600W ● 電源：AC 220V , 50Hz
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| 射頻電源 |
● 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) ● 頻率: 13.56 MH ● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源，來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)
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| 等離子腔體 |
● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封 ● 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設(shè)備屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏
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| 控制面板 |
● 通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等 ● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 ●
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| 真空泵（選配） |
● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為80mTorr（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊） ●
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| 通入氣體 |
● 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） ● 不能使用及腐蝕性氣體。
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| 可選 |
● 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片 ● 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) ●
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| 外形尺寸 |
620 L ×600 W ×600 H mm
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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| 相關(guān)應(yīng)用 |
● 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試等離子功率 ● 對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ● 對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源
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