- 石英圓形真空腔體，腔體處理溫度低，避免長(zhǎng)時(shí)間等離子處理造成的腔體溫度過(guò)高，確保對(duì)樣品表面沒(méi)有造成熱影響。
- 電源：采用電源電路技術(shù)，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果，頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配。
- *放電技術(shù)：特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
- 密封性的真空腔體設(shè)計(jì)：級(jí)的高真空度真空腔體設(shè)計(jì)及制造工藝，并配置進(jìn)口技術(shù)真空泵運(yùn)行。
- 高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，， 比例可調(diào)，采用高精度浮子流量計(jì)、美國(guó)世維洛克氣體管路及閥件。
- 自主研發(fā)的低壓(真空)等離子清洗機(jī)軟件系統(tǒng)，性能穩(wěn)定可靠，操作簡(jiǎn)單，便于維護(hù)，高效便捷。
- 強(qiáng)大的全面安全防護(hù)系統(tǒng)：溫度安全防護(hù)功能，過(guò)載防護(hù)功能，短路斷路報(bào)警防護(hù) 功能，各種誤操作保護(hù)功能。
- 優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件：產(chǎn)品部件采用國(guó)內(nèi)外優(yōu)質(zhì)品牌，確保設(shè)備性能*。
- 數(shù)字計(jì)時(shí)單元：0~99.9小時(shí)選擇范圍時(shí)間顯示，處理過(guò)程結(jié)束后自動(dòng)終止
- 精密數(shù)控加工：進(jìn)口精密CNC數(shù)控機(jī)床加工工藝，并經(jīng)過(guò)進(jìn)口三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x進(jìn)行質(zhì) 量監(jiān)控。
- 適用形狀復(fù)雜樣品：清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，包括內(nèi)孔內(nèi)壁，*均勻清洗。
- 處理全程無(wú)污染 ，等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，無(wú)產(chǎn)生任何污染，處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染?？梢耘c原有生產(chǎn)流水線搭配，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 型號(hào) | 數(shù)量 | 品牌 | PCE-05參數(shù) |
| 機(jī)身 | 一套 | 自產(chǎn) | 600(W)×400(D)×310(H)mm |
| 腔體 | 一套 | 石英真空腔體 | 直徑160*200mm |
| 真空泵 | 一組 | 飛越 | 4L/S |
| 角閥 | 一套 | 北儀 | 超高真空40KF |
| 流量控制器 | 二套 | Sevenstar華創(chuàng) | 0-300mL/m |
| 射頻電源 | 一套 | （13.56MHz） | 300W |
| PLC | 一套 | 三菱 | 包括PLC，A/D模組兩組 D/A模塊兩組溫度模塊 |
| 電氣系統(tǒng) | 一套 | 三菱 | 接觸器，繼電器，屏蔽器等 |
| 觸摸屏 | 一套 | 威綸 | 4.3寸 |
| 陶瓷封裝 | 一套 | 進(jìn)口 | 高頻陶瓷 |
| 電源 | 1 | 自產(chǎn) | 220V/50Hz |
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