萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)包括
1.塵粒允許數(shù)（每立方米）；
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè)，大或等于5
微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè)；
3.微生物允許數(shù)；
4.浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米；
5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差：相同潔凈度等級(jí)的凈化車間壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。
萬(wàn)級(jí)凈化車間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季凈化車間濕度控制在30－50％，夏季凈化車間濕度控制在50－70％。
配電：凈化車間（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括：
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
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