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圖片

簡介

SR系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司，其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量，為人們針對薄膜進(jìn)行分析提供了便利。

產(chǎn)品詳情

基本功能	1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) 2，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測 3，實(shí)現(xiàn)反射、投射以及顏色測量
產(chǎn)品特點(diǎn)	強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫；簡便、易行的可視化測試界面，可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù)；快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測試；支持多功能配件集成以及定制；支持不同水平的用戶控制模式；支持多功能模擬計(jì)算等等。
系統(tǒng)配置	型號：SR500R 探測器： 2048像素的CCD線陣列光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?br> 光傳送方式：光纖臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小軟件： TFProbe 2.2版本的軟件通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率電腦硬件要求：P3以上、50 MB的以上空間電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A 保修：一年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格參數(shù)

波長范圍：250nm到1700 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：可至50毫米厚測量厚度范圍：2nm～150μm 測量時(shí)間：zui快2毫秒精度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）重復(fù)性誤差*：小于1 ?
可選配件項(xiàng)	用于傳遞和吸收測量的傳動(dòng)夾具（SR500RT) ) zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP500) 在多個(gè)位置下，多個(gè)通道用于同時(shí)測量 (SR500xX) 在超過200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測繪（SRM500-200/300）

應(yīng)用系統(tǒng)

主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：
1  玻璃鍍膜領(lǐng)域（LowE、太陽能…）
2  半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride…)
3  液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...）
4  醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
5  油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
6  醫(yī)藥，中間設(shè)備
7  光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8  半導(dǎo)體化合物
9  在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
l0 非晶體，nm材料和結(jié)晶硅