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簡介
SR系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司，其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量，為人們針對薄膜進(jìn)行分析提供了便利。
產(chǎn)品詳情：
| 基本功能 | 1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫； |
| 系統(tǒng)配置 | 型號：SR300 通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連 |
規(guī)格參數(shù)
| 波長范圍：400nm到1100 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：zui多可至50毫米厚 測量厚度范圍*：2nm～50μm 測量時間：zui快2毫秒 精度*：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較） 重復(fù)性誤差*：小于1 ? | |
| 可選配件項(xiàng) | 用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR300RT) ) |
應(yīng)用系統(tǒng)
主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：
1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)
2 半導(dǎo)體制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)
4 醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
5 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
6 醫(yī)藥，中間設(shè)備
7 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半導(dǎo)體化合物
9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
l0 非晶體，nm材料和結(jié)晶硅
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