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這款紫外*是中功率準(zhǔn)分子紫外激光器,適合脈沖激光沉積,調(diào)諧激光泵浦,脈沖激光電離,半導(dǎo)體激光處理,紫外激光微納加工等應(yīng)用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬17~20ns,重復(fù)頻率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高達(dá)20W，193nm激光功率高達(dá)10W。
紫外*特征
•大功率*
•2ns低觸發(fā)抖動
•*的脈間穩(wěn)定性
•氣體壽命長
•長壽命光學(xué)
•電暈預(yù)電離
•車載真空泵

紫外*應(yīng)用
•替代激光器
•脈沖激光電離源
•微納激光加工
•精密標(biāo)記
•屈光手術(shù)
•拉曼光譜
紫外*EX50規(guī)格
工作物質(zhì)                         F2     ArF        KrF       XeCl     XeF
波長nm                          157     193     248      308     351
大能量mJ                   2.5     35        50         22         20
平均功率W@250Hz     0.5     5         10          5          5
平均功率W@500Hz     1       10        20         10         10
動態(tài)氣體脈沖壽命50%能量    15E6      25E6    35E6     30E6      30E6
靜態(tài)壽命50%能量   15天     90天  120天   >1年    120天
重復(fù)頻率                        250/500/750Hz
脈寬                        17-20ns
光斑尺寸                         9 x 4 mm         V x H
穩(wěn)定性                        <2%標(biāo)準(zhǔn)偏差
發(fā)散角                            0.8 x 1.6 mRad    V x H
冷卻                       空氣250，500 Hz/水1000 Hz
激光管壽命                       >30億脈沖
電源                       120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                              48kg