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長壽命*EX5D是按照工業(yè)激光標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的35W高功率*,具有緊湊的激光器結(jié)構(gòu)和高達(dá)60億次脈沖的壽命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬8~12ns,重復(fù)頻率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高達(dá)35W，193nm激光功率高達(dá)20W。
長壽命*特征
•飽和磁開關(guān)
•軟電暈預(yù)電離
•無弧放電
•穩(wěn)定能量輸出
•氣體壽命長
•數(shù)十億脈沖
•高功率
•重復(fù)頻率高達(dá)2000HZ
•多觸發(fā)器自動充氣
•低發(fā)散
•風(fēng)冷式
長壽命*EX5D規(guī)格
工作物質(zhì)           F2     ArF     KrF     XeCl     XeF
波長nm                             157    193     248     308      351
大能量mJ                       3     24      40      20       15
平均功率W@250Hz      0.8      6      10       5       4
平均功率W@500Hz      1.5     12      20      10       7
平均功率W@1000        3      24     40       20      15
重復(fù)頻率，Hz                 250/500/1000/2000
大能量mJ@2000Hz  1.5    10      14       10      7.5
平均功率W@2000Hz   3      20     28     20    15
動態(tài)氣體壽命@50%能量        十億脈沖的動態(tài)氣體壽命
穩(wěn)定功率W                      2       20     35     15    10
脈寬ns                                 8-12
光束尺寸mm                      3 X 6
穩(wěn)定性                       <2%標(biāo)準(zhǔn)偏差
激光管壽命                     20-60億脈沖
發(fā)散角mRad全角               0.8 X 1.5
冷卻                                空氣/水
窗口服務(wù)                     1000E6 1000E6  >1000E6 200E6 300E