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小型*是一款真正的全功能微型*，157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬7~9ns,重復頻率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm時激光功率高達8W，在193nm激光功率高達4W,采用超緊湊型48 X 26 X 26厘米、15千克、風冷封裝。
小型*特點
內(nèi)部法拉第籠確保超低電噪聲
陶瓷/金屬制造
壽命高達10億次
固態(tài)開關
抖動2ns

小型*應用
•替代激光器
•電離源激光器
•紫外激光微加工
•精密激光標記
•準分子屈光手術
•拉曼光譜
小型*EX5規(guī)格
工作物質(zhì)                       F2      ArF      KrF      XeCl      XeF
波長nm                         157      193      248     308       351
大能量mJ                 1.5/2.0*  12       20       8         6
峰值功率MW                0.25      1.75      2.5      1.0        0.75
平均功率W@250Hz   0.3/0.4   2.5      4.0      1.5         1.3
平均功率W@500Hz   0.5     5.0      8.0      2.5         2.4
重復頻率                               250/500/750
動態(tài)氣體壽命50%能量10E6     12E6    18E6  10E6    15E6
50%能量保存期            10天      15天   30天  2個月   30天
脈寬ns                                              7--9
穩(wěn)定性                           <2%標準偏差
激光管壽命                        20億脈沖
光束尺寸mm                      3X 6
發(fā)散角mRad全角度              1 X 2
冷卻                                               空氣/可選水冷
定時抖動                       2ns標準偏差
重量                             15kg 250/500Hz