進(jìn)口高純度襯底晶圓屬性
方向：
立方和四方晶體的（100）、（001）、（111）、（110）
六方晶體的（0001），（1102），（1120），（1010）
米勒指數(shù)較高或相鄰基質(zhì)的其他方向
定位精度：±0.5°，典型<0.3°，或根據(jù)要求更好
典型尺寸：
5毫米x 5毫米，10毫米x 10毫米，10毫米x 5毫米，15毫米x 15毫米，12.7毫米x12.7毫米，20毫米x20毫米，25毫米x25毫米，ø1“，ø2”
橫向公差：+0/-0.05 mm
典型厚度：
0.5毫米、1.0毫米，其他厚度可根據(jù)要求降至0.1毫米
垂直公差：+/-0.05 mm，或根據(jù)要求更好
拋光：單面或雙面epi拋光
表面質(zhì)量：放大50倍無劃痕
微粗糙度（用干涉儀顯微鏡測量,橫向分辨率：0.64µm，垂直分辨率：理論0.01 nm）
粗糙度：（λ截止值=0.08 mm）
Ra:<0.5納米
Rq:<1.0納米
室溫：<2.0納米
每批中包含的粗糙度證書
根據(jù)要求對側(cè)面（圓柱體）進(jìn)行光學(xué)拋光。
進(jìn)口高純度襯底晶圓可提供種類
| 晶圓材料 | 化學(xué)名稱 | 非科學(xué)-/礦物名稱 |
|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminium oxide | Sapphire |
| BaF2 | Barium fluoride | Frankdicksonite |
| BaTiO3 | Barium titanate | BTO |
| CaF2 | Calcium fluoride | Fluorspar |
| CdS | Cadmium sulfide | Greenockite |
| CdSe | Cadmium selenide | Cadmoselite |
| CdTe | Cadmium telluride | - |
| DyScO3 | ||
| GaN | Gallium Nitride | |
| GdScO3 | ||
| Ge | Germanium | - |
| Gd3Ga5O12 | Gadolinium Gallium Garnet | GGG |
| KBr | Potassium bromide | - |
| KTaO3 | Potassium tantalate | - |
| LaAlO3 | Lanthanum aluminate | LAL |
| LiAlO2 | Lithium aluminate | - |
| LiF | Lithium fluoride | - |
| LiNbO3 | Lithium niobate | LN |
| (La,Sr)(Al,Ta)O3 | Lanthanum strontium aluminium tantalate | LSAT |
| LiTaO3 | Lithium tantalate | LT |
| MgAl2O4 | Magnesium aluminate | Spinel |
| MgF2 | Magnesium fluoride | Sellaite |
| MgO | Magnesium oxide | Periclase |
| NdGaO3 | Neodymium gallate | - |
| (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) - xPbTiO3 | Lead magnesium niobate – lead titanate | PMN-PT |
| Si | Silicon | - |
| SiC | Silicon carbide | - |
| SiO2 | Silicon dioxide | Amorphous Quartz glass |
| α-SiO2 | Silicon dioxide, single crystalline | Alpha-quartz |
| SrLaAlO4 | Strontium lanthanum aluminate | SLA |
| SrLaGaO4 | Strontium lanthanum gallate | SLG |
| SrTiO3 | Strontium titanate | Fabulite, Tausonite |
| SrTiO3:Nb | Niob doped Strontium titanate | - |
| TbScO3 | ||
| TiO2 | Titanium dioxide | Rutile |
| Y3Al5O12 | Yttrium Aluminium Garnet | YAG |
| Y3Fe5O12 | Yttrium Iron Garnet | YIT |
| YVO4 | Yttrium Orthovanadate | YVO |
| YAlO3 | Yttrium Aluminium Perowskite | YAP |
| YAlO3:Ce | Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite | YAP:Ce |
| ZnO | Zinc oxide | Zincite |
| ZnS | Zinc sulfide | - |
| ZnSe | Zinc selenide | - |
| ZnTe | Zinc telluride | - |
| ZrO2:Y | Yttrium stabilised Zirkonium dioxide | YSZ |
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