尼康Nikon i-line(365 nm 波長)光刻機(jī)NSR-4425i,解析度≤700nm,視場大小44*44mm,對(duì)準(zhǔn)精度≤100nm。
本機(jī)的二次翻新改造針對(duì)于6英寸十字線系統(tǒng),八英寸晶圓。光刻膠的膜厚度應(yīng)為1.20µm,產(chǎn)能每小時(shí)100wph。
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尼康Nikoni-line(365nm波長)光刻機(jī)NSR-4425i,解析度≤700nm,視場大小44*44mm,對(duì)準(zhǔn)精度≤100nm
尼康Nikon i-line(365 nm 波長)光刻機(jī)NSR-4425i,解析度≤700nm,視場大小44*44mm,對(duì)準(zhǔn)精度≤100nm。
本機(jī)的二次翻新改造針對(duì)于6英寸十字線系統(tǒng),八英寸晶圓。光刻膠的膜厚度應(yīng)為1.20µm,產(chǎn)能每小時(shí)100wph。
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