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超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類(lèi)別:其它
  • 所在地:深圳市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2024-10-10 18:53:56
  • 瀏覽次數(shù):2
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  • 商鋪產(chǎn)品:71條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2017-07-03
  • 最近登錄:2024-04-13
  • 聯(lián)系人:瞿經(jīng)理
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)采用國(guó)際UHV配件及金屬密封件,本底真空可達(dá)到10-9~10-10Torr量級(jí)

詳情介紹

矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)采用國(guó)際UHV配件及金屬密封件,本底真空可達(dá)到10-9 ~ 10-10 Torr量級(jí)。在超高真空環(huán)境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯,廣泛適用于超導(dǎo)結(jié)、量子器件和自旋電子學(xué)的研究開(kāi)發(fā)。


技術(shù)參數(shù):

1 本底真空可達(dá)10-9 ~ 10-10 Torr;

2 單基片設(shè)計(jì),尺寸可定制;

3 基片可旋轉(zhuǎn)并加熱:300℃/500℃/800℃;

4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍?zhuān)矠R射;

5 靶槍角度可調(diào),濺鍍距離可調(diào),可升級(jí)強(qiáng)磁靶;

6 防交叉污染隔板設(shè)計(jì);

7 可配備離子束輔助沉積;

8 可配備樣品預(yù)清洗功能;

9 可配備快速進(jìn)樣室;

10 可配備自動(dòng)壓力控制系統(tǒng);

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