技術(shù)參數(shù):
1 本底真空:10-7 Torr;
2 單基片設(shè)計(jì),尺寸可定制;
3 基片可旋轉(zhuǎn)并加熱:300℃/500℃/800℃;
4 濺射:1-3支磁控濺射靶槍,可共濺射;
5 電子束蒸發(fā):4-6坩堝
6 熱蒸發(fā):最多6蒸發(fā)源,包括有機(jī)物蒸發(fā)源;
7 可連接手套箱
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免費(fèi)會(huì)員
參 考 價(jià): | 面議 |
手動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)適用于本科生教學(xué),研究生科研訓(xùn)練,也可以應(yīng)用于科研工作
技術(shù)參數(shù):
1 本底真空:10-7 Torr;
2 單基片設(shè)計(jì),尺寸可定制;
3 基片可旋轉(zhuǎn)并加熱:300℃/500℃/800℃;
4 濺射:1-3支磁控濺射靶槍,可共濺射;
5 電子束蒸發(fā):4-6坩堝
6 熱蒸發(fā):最多6蒸發(fā)源,包括有機(jī)物蒸發(fā)源;
7 可連接手套箱
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