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小型工業(yè)*EX5A和EX5AR（加固型）在微型*基礎(chǔ)上提高激光性能,激光器壽命大大延長，激光能量輸出和平均功率也高于標(biāo)準(zhǔn)的*。非常適合需要高占空比和少維護(hù)的激光應(yīng)用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波長,脈寬8~10ns,重復(fù)頻率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高達(dá)8W，193nm激光功率高達(dá)4W。
小型工業(yè)*EX5A/AR規(guī)格
工作物質(zhì)                           F2              ArF     KrF     XeCl     XeF
波長nm                             157           193     248     308     351
大能量mJ                     1.5/2.5*   14       20       12       8
峰值功率MW                   0.30        2.0      2.5     1.25     0.8
平均功率W@250Hz     0.3/0.4     3.0      5.0      2.5     1.4
平均功率W@500Hz      0.5            6.0       8.0     4.0     2.5
平均功率W@1000Hz    1.0             9         14     6.0      5.0
大能量mJ @2000Hz                    0.7       0.9
平均功率W@2000Hz                     1.0    1.4
動態(tài)氣體壽命@50%能量   10E6    12E6    18E6    20E6    15E6
50%能量保存期               10天    15天   30天   >2個(gè)月   30天
脈寬ns                                             8-10
穩(wěn)定性                           <2%標(biāo)準(zhǔn)偏差
激光管壽命                          50億脈沖
光束尺寸，mm                         3X 6
發(fā)散角mRad全角                    1 X 2
冷卻                                                      空氣/水冷
定時(shí)抖動                           2ns標(biāo)準(zhǔn)偏差
重量                     15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz