適用于8"&12"晶圓

操作簡(jiǎn)便

貼膜質(zhì)量

沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時(shí)產(chǎn)能

30~70片晶圓

更換產(chǎn)品時(shí)間

≤5分鐘

常規(guī)產(chǎn)品厚度

200 ~750微米

Bump產(chǎn)品厚度

晶圓 200～400微米

凸塊 50～200微米

晶圓翹曲

≤5mm

晶圓種類(lèi)

硅, 砷化鎵或其它

單平邊，V型缺口

膠膜種類(lèi)

藍(lán)膜或者UV膜

寬度：240~340毫米

長(zhǎng)度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

貼膜原理

防靜電滾輪貼膜

滾輪溫度

室溫～80攝氏度

貼膜動(dòng)作

自動(dòng)拉膜和貼膜

晶圓臺(tái)盤(pán)

二合一特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)，或硅膠臺(tái)盤(pán)臺(tái)盤(pán)溫度：室溫～100℃

裝卸方式

晶圓手動(dòng)放置與取出

防靜電控制

防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器

切割系統(tǒng)

的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀，適用于不同的晶圓外形，

刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)，無(wú)任何飛邊并省去修邊

的手動(dòng)直切刀，為省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：達(dá)150℃

晶圓定位

通用標(biāo)線/彈簧銷(xiāo)釘

控制單元

基于PLC 控制，并帶5.7"觸摸屏

安全防護(hù)

配置緊急停機(jī)按鈕

電源電壓

相交流電220V,10A

壓縮空氣

5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺

機(jī)器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

680毫米(寬)*900毫米(深)*600毫米(高)

凈重

85公斤