STK-6150 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機 特點： |
8"-12"晶圓適用 |
設(shè)計的滾輪貼膜 |
自動膠膜進給及貼膜 |
手動晶圓上下料 |
自動切割膠膜，省力 |
藍膜、UV 膠膜可選 |
PLC+觸摸屏 |
配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕 |
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控 |
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STK-6150 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機 規(guī)格參數(shù)： |
晶圓尺寸 | 8"-12"晶圓 |
晶圓厚度 | 100～750微米 |
晶圓種類 | 硅, 砷化鎵或其它 單平邊,雙平邊,V型缺口 |
膠膜種類 | 藍膜或者UV膜 |
貼膜方法 | 滾輪貼膜 |
晶圓臺盤 | 接觸式晶圓臺盤 |
晶圓臺盤 | 通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤;或硅膠臺盤;或陶瓷臺盤 |
晶圓臺盤加熱 | MAX可達 120℃ (對應(yīng)接觸式臺盤，可 選) |
晶圓放置精度 | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5° |
裝卸方式 | 手動晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測 |
防靜電控制 | 去離子風(fēng)扇 |
切割系統(tǒng) | 自動刀 |
控制單元 | 基于 PLC 控制，10.4"觸摸屏 |
電源電壓 | 單相交流電220V,10A |
壓縮空氣 | 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺 |
燈塔 | 三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測 |
安全 | 配置安全光簾和緊急停機開關(guān) |
體積 | 950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
凈重 | 300 公斤 |
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