設(shè)計(jì)的滾輪貼膜

自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜

手動(dòng)晶圓上下料

自動(dòng)切割膠膜，省力

藍(lán)膜、UV 膠膜可選

PLC+觸摸屏

配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控

貼膜品質(zhì)

沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

Cycle Time：

≤ 45 秒（不包含上料/下料時(shí) 間）

MTBF

>168小時(shí)

MTTR

<1小時(shí)

停機(jī)時(shí)間

<3%

更換產(chǎn)品時(shí)間：

≤ 10 分鐘

晶圓厚度：

100~750 微米

晶圓種類：

硅,  砷化鎵或其它材料/單平邊,雙平邊,V 型缺口；

膜種類：

藍(lán)膜或者 UV 膜

貼膜方法：

滾輪貼膜

晶圓臺(tái)盤：

接觸式晶圓臺(tái)盤

晶圓臺(tái)盤加熱：

可達(dá) 120℃ (對(duì)應(yīng)接觸式臺(tái)盤，可 選

晶圓放置精度：

X-Y:  +/- 0.5 毫米； Θ  : +/- 0.5°；

裝卸方式：

手動(dòng)晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測(cè)；

防靜電控制：

去離子風(fēng)扇

切割系統(tǒng)：

自動(dòng)刀

控制單元：

基于 PLC 控制，10.4"觸摸屏

電源電壓：

單相交流電 220V,10A；

壓縮空氣：

60  PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5  立方英尺

燈塔：

三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測(cè)

安全：

配置安全光簾和緊急停機(jī)開關(guān)；

體積：

950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高)

凈重：

300 公斤