SGM1400度真空井式坩堝爐為洛陽西格馬高溫電爐生產的實驗室用小型坩堝燒結爐。真空井式坩堝爐是由一個坩堝爐膛和不銹鋼法蘭密封系統、溫控系統、加熱元件、保溫系統等組成。坩堝可以選石英坩堝或者氧化爐坩堝。坩堝爐可裝真空裝置,能在多種氣氛下工作。
Sgm1400 degree vacuum well type crucible furnace is a laboratory small crucible sintering furnace produced by Luoyang sigma high temperature electric furnace. The vacuum well crucible furnace is composed of a crucible furnace, stainless steel flange sealing system, temperature control system, heating elements, heat preservation system, etc. The crucible can be quartz crucible or oxidation furnace crucible. The crucible furnace can be equipped with vacuum device and can work in various atmospheres.
洛陽西格馬高溫電爐可生產玻璃坩堝爐,電阻坩堝爐、小型實驗室坩堝爐、可傾斜坩堝爐、坩堝熔煉爐。
Luoyang sigma high temperature electric furnace can produce glass crucible furnace, resistance crucible furnace, small laboratory crucible furnace, tilting crucible furnace and crucible melting furnace.
真空井式坩堝爐簡介
坩堝爐主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導體晶片,也可用于烘燒或燒結陶瓷材料。高校、科研院所、工礦企業(yè)主要用于煅燒真空或惰性氣體中的高純度化合物,退火或擴散半導體晶片,也可以用于烘燒或燒結陶瓷材料等。
真空井式坩堝爐主要參數說明
電爐名稱 | 真空坩堝爐 Vacuum crucible furnace | ||
型號 | SGM VCF-1200T | SGM VCF-1400T | SGM VCF-1700T |
工作溫度 | >1200℃ | >1400℃ | >1700℃ |
加熱元件 | 電阻絲 | 硅碳棒 | 硅鉬棒 |
熱電偶 | K型 | S型 | B型 |
控溫方式 | 51段可編程自動控制,PID調節(jié)控溫精度 | ||
升溫速率 | 0-10℃ | 0-20℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | ||
額定真空度 | -0.1MPa | ||
爐膛材料 | 氧化鋁陶瓷纖維板 | ||
爐殼 | 雙層爐殼,風冷結構(爐底安裝兩個散熱風扇),爐殼表面溫度低于60度 | ||
爐門結構 | 上開式 | ||
主要配件 | 密封法蘭1套,坩堝1個,真空泵1臺,高溫手套1副,熱電偶1根等 | ||
額定功率 | 1KW—8KW | ||
常用爐膛尺寸 | Φ240xH220mm; Φ40xH300mm; Φ60xH300mm; Φ80xH300mm; Φ100xH300mm; Φ120xH300mm |
溫控程序曲線示意圖(六段為例):
溫控程序對應符號及其意義:
提示符 | 輸入數據 | 意義 |
C 01 | 0 | 起始溫度值 |
t 01 | 60 | 從0~300℃的升值時間為60分鐘 |
C 02 | 300 | *個目標溫度值 |
t 02 | 10 | 300℃保溫時間10分鐘 |
C 03 | 300 | 第二個目標溫度值 |
t 03 | 240 | 從300~1500℃的升值時間為240分鐘 |
C 04 | 1500 | 第三個目標溫度值 |
t 04 | 30 | 1500℃恒溫時間10分鐘 |
C 05 | 1500 | 第四個目標溫度值 |
t 05 | 260 | 從1500~200℃的升值時間為260分鐘 |
C 06 | 200 | 第五個目標溫度值 |
t 06 | -121 | 程序運行結束,自然降溫 |
常見故障及故障排除
故障現象 | 故障原因 | 排除方法 |
打開控制電源開關Lock無電源指示 | 控制線路FU1 4A保險絲斷 | 檢查有無短路排除后更換保險絲 |
綠色Power指示燈滅,紅色Open circuit指示燈亮。 | 主電路FU2 32A保險絲斷 | 檢查有無短路排除后更換保險絲 |
電壓額定,無電流。 | 硅鉬棒斷裂 | 更換硅鉬棒 |
儀表SV交替顯示OraL | 熱電偶斷路 | 更換熱電偶 |
儀表SV交替顯示HIAL | 爐體超過上限溫度1700℃儀表起保護 | 溫度降至安全溫度后儀表自動恢復正常(檢查超溫原因) |
電源及硅鉬棒都正常,但爐體不能升溫 | 控制線路損壞 | 通知專業(yè)維修人員。 |
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