CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10^-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統(tǒng)是由2路供氣系統(tǒng)+TL1400管式爐+低真空系統(tǒng)組成

TL1400 電爐描述

管式爐以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和日本島電控溫儀表，能進行40段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料碳爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10^-3 Pa ,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想電爐.。

軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。

密封系統(tǒng)：該爐法蘭采用雙重硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

真空系統(tǒng)：可配TW-1、5A真空泵和能夠抽到10^-1Pa真空泵或能夠抽到10^-4Pa德國進口分子泵。

爐膛材料：采用優(yōu)質(zhì)爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。

加熱元件：采用Dia14mm直徑硅碳棒、硅碳棒直徑粗、表面負荷低，使用使用長。

漏電保護功能：該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當爐體漏電時自動斷電，以確保使用的安全性。

供氣系統(tǒng)：該爐配有浮子流量計，客戶可通過浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速（詳細請查看選件）。

法蘭：采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、KF25波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

TL1400-L-C 單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)詳細技術(shù)參數(shù)

管式爐標準配件

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