洛陽西格馬高溫電爐有限公司
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1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)電爐概述：電爐應(yīng)用：二PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
電爐應(yīng)用：二
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
電爐組成：
PECVD系統(tǒng)配置：
1、200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2、滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。
3、預(yù)加熱開啟式管式電爐
4、等離子射頻電源
5、多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6、真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
電爐特點(diǎn)：
生長(zhǎng)溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡(jiǎn)單。
西格馬 地址：
哪個(gè)廠家的質(zhì)量好?生產(chǎn)廠家西格馬質(zhì)量好，售后完善。
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