紫外臭氧清洗機(jī) PCE-22-LD （科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.17審核）

· 僅室內(nèi)使用；海拔高度5500英尺以內(nèi)；

· 溫度范圍：5-40℃；

· 相對(duì)濕度80%，30.5℃，40℃線性降至50%相對(duì)濕度；

· 主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10%；

· 污染等級(jí)2；臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量＜45ppb

· 去除分子級(jí)別的污染物

· 清洗MEMS器件

· 清洗各種基片，如si,Ge,GaAs和各種氧化物單晶基片

· 電源：AC 220V 50HZ/60hz

· 功率：1000W（加熱功率為800W）

· 不銹鋼殼體

· 抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣（如下圖1）

· 基片臺(tái)尺寸：310mm*320mm

· 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

· 樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm-40mm范圍內(nèi)可調(diào)（圖2）

· 樣品臺(tái)可以加熱，溫度可達(dá)150℃

· 可設(shè)置8段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

· 照射設(shè)定時(shí)間：1min-9999min

· 一個(gè)4.5英寸的觸摸屏控制設(shè)備的加熱以及清洗功能

· 點(diǎn)擊觸摸屏上的“溫控程序"即可進(jìn)入程序設(shè)置界面，內(nèi)置溫控儀表采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升溫程序，設(shè)備只顯示8段升溫程序，可根據(jù)實(shí)際要求進(jìn)行添加

· 設(shè)備加熱前需進(jìn)行預(yù)熱處理

· 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

· 請(qǐng)將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

· 橡膠管長(zhǎng)度8米

· UV燈管：210W

· 功率：55W

· 發(fā)出光的波長(zhǎng)：254nm和185nm

· 照射區(qū)域：200*200mm

· 可以清潔直徑為12英寸×35mm的晶體晶片

550mm（L）*520mm（W）*335mm（H）

約30KG

一年保修，終身技術(shù)支持