·射頻功率: 100 W

·真空泵功率: <>

·總功率: <>

·電源：AC 220V , 50Hz

·射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)

·頻率: 13.56 MHz

·可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)

·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

·鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封

·法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

·此設(shè)備屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

·通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.

·儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量

·儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

·極限真空度為50mTorr

·等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

·不能使用及腐蝕性氣體。

·可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

·可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

·620 L ×600 W ×600 H, mm

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書

·請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試的等離子功率

·對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間

·對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間

·可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源