射頻功率：0-500W

總功率：1.5KW

電源：AC220V 50/60Hz

射頻功率可在0-500W之間調節(jié)

頻率：13.56MHz

注：可與本公司工作人員聯(lián)系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機

8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體

鋁制折疊式法蘭來進行真空密封

法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

此設備屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等

儀器內部安裝有一0 - 100ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量

儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

極限真空度為80mTorr（參考值，具體請點擊）

等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質所定）

不能使用及腐蝕性氣體。

可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

可選購2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)  

600mm L×600mm W×810mm H

一年保質期，終生維護

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

·此產(chǎn)品已通過CE認證

  證書編號：M.2021.206.C67994

·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

請自行根據(jù)您的應用測試的等離子功率

對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 -100W之間

對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在300-500W之間