3英寸迷你型等離子清洗機(jī)-PDC-36G （2019.11.26—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

       操作視頻

·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器

·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物。

·在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好。

·鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣

·石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟，清洗一個(gè)2英寸的基片。

·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換

·使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別；低成本、操作安全。

·等離子直流電源：

·射頻源輸出頻率：13.56MHz；

·輸入電壓：220V,50Hz；

·壓力范圍：1-1999TOrr；

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

等離子腔室：·直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體，前蓋可以開(kāi)啟。

            ·高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長(zhǎng)。

閥門：·1/8英寸針閥控制進(jìn)氣。

      ·1/8英寸三通球閥控制氣體進(jìn)出。

真空計(jì)：設(shè)備標(biāo)配一個(gè)電阻規(guī)和數(shù)顯電阻真空計(jì)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。

·多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

·可以使用<>

等離子清洗機(jī)工作原理

·353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

（不含泵）8kg

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書編號(hào)：M.2021.206.C67994

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證